4200脉冲IV测量CMOS晶体管时探针如何互连？

Jack_ma

4200脉冲IV测量CMOS晶体管时探针如何互连？ [复制链接]

4200-PIV包[1]无需重新布线或切换，可以给DUT[2]引脚提供直流和脉冲能力。这种能力的关键是4200-RBT远程偏置T型接头，它采用无源电器元件将低频直流信号和高频脉冲信号相结合。

4200-RBT的连线是SMA同轴电缆，它将连接到很多RF和直流探针设备上。

直流探针互连

对于直流结构，内含的适配器电缆（4200-PRB-C[3]，图14）将SMA转换为直流设备上的双SSMC连接。

图14.     4200-PRB-C 4200脉冲SMA至SSMC的Y适配器

许多探头设备在探针支架上是SSMC[4]的连接

·         Cascade DCM- 2xx开尔文直流探头设备

·         Suss  Microtec的探头尖端

·         Signatone SCA- 50的同轴探头

·         美国探测及技术

o  74CJ系列同轴探头支架

·         靠近探头尖部，为SSMC接头的任何探针互联系统

这些SMA至SSMC“Y”适配器电缆适合于以直流结构标称的晶圆上的脉冲IV测试。这些“Y”电缆不适于更高频率的设备。没有指定频率的上限，这是因为实际设备和探头的配置对测试会有显著的影响。一般情况下，当使用直流探头连接和4200-PRB-C电缆时，任何高于1GHz Ft的设备可能会发生振荡。

射频探针互连

如果设备是射频布局（G-S-G），那么“Y”适配器电缆和直流探针设备很可能不够用。 在RF G-S-G焊盘布局的情况下，不使用4200-PRB-C “Y”电缆，只需使用4200-PIV包提供的较短的SMA电缆（6寸/15厘米），用此电缆会直接将4200-RBTs与RF设备（下文中图16）相连。请注意，具有功率分配器的4200 -RBT连接到门极。

图16.     远程偏置T型接头至RF的RF G-S-G的脉冲IV连接

 

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[1] 4200-PIV包http://www.keithley.com.cn/products/dcac/voltagesource/?mn=4200-PIV

[2] DUT http://www.keithley.com.cn/events/proddemos/27xxdemo/demoimages/PD1_DUT.jpg/view

[3] 4200-PRB-C http://www.keithley.com.cn/products/semiconductor/parametricanalyzer/4200scs/?mn=4200-PRB-C

[4] 双SSMC至SMA电缆http://www.keithley.com.cn/products/dcac/waveform/?path=4200-PRB-C/RELPRD_4200-PRB-C

[5] 4200-PIV  http://www.keithley.com.cn/products/dcac/voltagesource/?mn=4200-PIV