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五彩晶圆(高级)
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2.5维把垂直方向的场分布做均匀处理。2维不考虑垂直分量,3维可以处理垂直方向的不均匀场分布。 可见2.5维比2维多一点点,却比3维少那么一点点,故称之为2.5维。2.5维的分析方法多采用MOM(sonnet, agilent momentum...)3维的分析方法有FDTD(CST MWS),FEM(ansoft HFSS)...
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