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求以下相关书籍 1.石庚辰, 微机电系统技术,北京:国防工业出版社,2002 2.章吉良等,微机电系统及其相关技术,上海:上海交通大学出版社,2001 3.苑伟政等, 微机械与微细加工技术,西安:西北工业大学出版社,2000 4.黄庆安,硅微机械加工技术,北京:科学出版社,1996 谁有电子版书记请给我发到邮箱
huyanlong121112@163.com
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