4200脉冲IV测量CMOS晶体管工作原理

Jack_ma

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本文补充了4200-SCS[1]应用手册第四章节脉冲IV部分信息。双击4200桌面上的Complete Reference图标得到所有4200的文档。

通常而言，4200-PIV[2]给门极施加一个脉冲，同时直流偏置漏极。源和本体均连接到地线/屏蔽层上。双通道示波器（4200-SCP2）测量门极和漏极电压。漏电流是通过计算示波器的50ohm两端（图1a，SCP2通道2的 Rsense）的电压降得到的。

 

为了提供信号截图并显示设置不同的影响，图1a及1b显示了脉冲IV设置的原理图及选择点对应的波形示意图。虽然许多波形显示如下，实际上却只有2个波形是由4200-SCP2[3]（B和E）测量的。图1b所示的波形是图1a所示信号的截图，所有的图使用同一时间刻度。同时显示所有波形允许对线路的不同部分的直流偏置和相对幅值进行对比。

 

 

图1a.     4200脉冲IV互联原理图，显示4200-PG2, 4200-SMUs, 4200-RBTs 和 DUT

图1b.     图1a所选点的波形

 

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[1] 4200-SCS http://www.keithley.com.cn/products/semiconductor/parametricanalyzer/4200scs/?mn=4200-SCS

[2] 4200-PIV http://www.keithley.com.cn/products/semiconductor/parametricanalyzer/4200scs/?mn=4200-PIV-A-3Y-CAL

[3] 4200-SCP2http://www.keithley.com.cn/products/accessories/adaptercable/?mn=4200-SCP2