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五彩晶圆（初级）

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发表于2006-7-10 15:24 只看该作者

TFT可采用液态硅旋转涂布工艺生产 [复制链接]

精工爱普生公司（Seiko Epson）与JSR公司共同开发了一种采用液态涂布和喷墨成形工艺的硅薄膜。这种硅薄膜是一种低温多晶硅TFT（薄膜晶体管），其性能可与采用传统CVD（化学气相沉积）方法生产的薄膜相媲美。这种新型材料是一种氢和硅的高级硅烷混合物，它可以被有机溶剂溶解。

为了得到一种硅薄膜，开发人员将材料旋转涂覆在一个基底上，并在一种惰性气体中进行烘烤。在这个过程中电子的流动性达到108cm²/Vsec。利用喷墨方法形成的硅薄膜形式的TFT原型可实现6.5cm²/Vsec的流动性，比旋转涂布的图形更好。其最终目标应用包括液晶电视和喷墨打印机。

来源：EDN电子设计技术

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