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frozenviolet

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纯净的硅（高级）
楼主
发表于2006-8-11 17:01 只看该作者
 

ANSYS 在微机电系统（MEMS）设计中的应用 [复制链接]

微机电系统(MEMS)是当今技术领域最热点之一；它采用先进的半导体工艺，将具有信号处理功能的智能机械结构集成在一块芯片中。MEMS 装置具有与传统的传感器和执行器等相同的功能，但比后者要小得多，为使这种体积纤小、结构精巧的微机电器件能够精确、可靠地工作，以适应恶劣环境，MEMS 工程师在设计中普遍采用FEA 方法，借助软件对微机电系统的应力、变形、自振、热损失、流体压差与速度、电阻电导、电磁场干扰

1346.rar

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zqkty
请问，这篇文章来源于那本书、或者期刊  详情 回复 发表于 2012-2-29 19:40
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cocaxixi

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一粒金砂（初级）
沙发
发表于2008-1-12 00:33 只看该作者
 

回复：ANSYS 在微机电系统（MEMS）设计中的应用

我是新手，怎么样才可以下载看到他啊

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cocaxixi

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一粒金砂（初级）
板凳
发表于2008-1-12 00:35 只看该作者
 

回复：ANSYS 在微机电系统（MEMS）设计中的应用

会下了，感谢楼主提供这么好的资料。
 
 
 
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xiangbeiyan

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一粒金砂（初级）
4楼
发表于2008-1-12 14:13 只看该作者
 

回复：ANSYS 在微机电系统（MEMS）设计中的应用

好资料，非常感谢楼主共享！
 
 
 
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janehu200307

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一粒金砂（初级）
5楼
发表于2009-1-8 16:30 只看该作者
 

Re: ANSYS 在微机电系统（MEMS）设计中的应用

非常感谢！
 
 
 
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lia1062001

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一粒金砂（中级）
6楼
发表于2009-1-18 17:01 只看该作者
 

Re: ANSYS 在微机电系统（MEMS）设计中的应用

非常有用的好物啊~感谢大大
 
 
 
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tzl1963

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纯净的硅（中级）
7楼
发表于2009-1-22 16:39 只看该作者
 

Re: ANSYS 在微机电系统（MEMS）设计中的应用

MEMS我很感兴趣，用ANSYS会不会太泛了一点。
 
 
 
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zxs77009

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一粒金砂（初级）
8楼
发表于2009-4-14 13:03 只看该作者
 

Re: ANSYS 在微机电系统（MEMS）设计中的应用

感谢楼主分享。。。
 
 
 
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nilelixp

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一粒金砂（初级）
9楼
发表于2010-12-24 10:56 只看该作者
 
感谢分享 学习
 
 
 
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zqkty

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一粒金砂（初级）
10楼
发表于2012-2-29 19:40 只看该作者
 

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