ANSYS在微机电系统(MEMS)设计中的应用

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微机电系统(MEMS)是当今技术领域最热点之一；它采用先进的半导体工艺，将具有信号处理功能的智能机械结构集成在一块芯片中。MEMS装置具有与传统的传感器和执行器等相同的功能，但比后者要小得多，通常一个MEMS 装置只有几毫米大，而其中每个部件的大小则不足100微米。自七十年代建立MEMS 研发(R&D)实验室以来，MEMS正逐步迈向工业化，目前已广泛用于汽车工业、航空航天、国防军工、信息技术、无线通讯、分析化学、生物工程、制药等行业，其中汽车工业是使用MEMS最大的工业；其次是医药业。