新方法——对MEMS器件面内和离面运动同步实时跟踪，样片展示

lyceetec

新方法——对MEMS器件面内和离面运动同步实时跟踪，样片展示 [复制链接]

 
MEMS动态表征应用案例：1、MEMS麦克风 2、惯性传感器 3、MEMS微执行器 4、MEMS微镜 5、微热板 6、MEMS悬臂梁配合MEMS频闪模块测量 7、超声传感器 8、24.7MHz表面声波

MEMS麦克风                                                            惯性传感器

MEMS微执行器                                                        MEMS微镜

微热板                                                                    MEMS悬臂梁

超声传感器                                                              24.7MHz表面声波

全息法对于离面运动的测量达到了MEMS激光测振仪的精度，而对于面内运动的测量精度则远远超过目前市场上MEMS分析仪的测量精度，达到了1纳米。
大家怎么看？

nmg

楼主从哪里找到这些图片，多谢分享

lyceetec

nmg 发表于 2017-9-30 14:53
楼主从哪里找到这些图片，多谢分享

这个是我们自己用全息显微镜拍的样品，您感兴趣的话可以加我QQ2113569210或邮箱payne@rayscience.com，有更多产品资料，还有样机展示