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一粒金砂(初级)

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请教高手们有没有可以实现在线测量薄膜宽度的传感器? [复制链接]

如标题所示,想做一套可以测量到薄膜宽度数据的控制系统,但测量宽度没找到合适的方案,精度要求+-0.5MM左右,膜的速度最高为130M/MIN左右。

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除了正负0.5mm,宽度的测量范围也很重要,可以测量的范围1.0m~1.5m和1.29m~1.31m从方法上到成本上相差很远。 楼主要测宽度的膜是透明的还是不透明的? 如果不透明,光学成像方式可能最简单。 如果对可见光透明,看看膜的材料在光谱的哪个频段不透明。  详情 回复 发表于 2015-3-19 11:19
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五彩晶圆(高级)

沙发
 
现在测量宽度有什么方案啊
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五彩晶圆(初级)

板凳
 
单独的测比较难,可以借助设备周边的东西做参考。使用激光看一下行不行。
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容栅位移传感器,游标卡尺里用的就是,配合适当的机械结构即可。
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这种是接触式的吧,膜的厚度只有0.02至0.3MM之间,如果有接触可能不太好  详情 回复 发表于 2015-3-17 21:10
个人签名上传了一些书籍资料,也许有你想要的:https://download.eeworld.com.cn/user/chunyang
 
 
 

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一粒金砂(初级)

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chunyang 发表于 2015-3-17 18:12
容栅位移传感器,游标卡尺里用的就是,配合适当的机械结构即可。



这种是接触式的吧,膜的厚度只有0.02至0.3MM之间,如果有接触可能不太好
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用两个导轮压住,一个导轮轴固定,一个活动,然后根据活动导轮抬起的位移即可获知。  详情 回复 发表于 2015-3-17 22:48
 
 
 

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NA引擎 发表于 2015-3-17 21:10
这种是接触式的吧,膜的厚度只有0.02至0.3MM之间,如果有接触可能不太好



用两个导轮压住,一个导轮轴固定,一个活动,然后根据活动导轮抬起的位移即可获知。
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个人签名上传了一些书籍资料,也许有你想要的:https://download.eeworld.com.cn/user/chunyang
 
 
 

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纯净的硅(中级)

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怎么感觉标题是测宽度,说着有点像厚度
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除了正负0.5mm,宽度的测量范围也很重要,可以测量的范围1.0m~1.5m和1.29m~1.31m从方法上到成本上相差很远。
楼主要测宽度的膜是透明的还是不透明的?
如果不透明,光学成像方式可能最简单。
如果对可见光透明,看看膜的材料在光谱的哪个频段不透明。
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