MEMS倾角传感器在工业应用

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MEMS倾角传感器在工业应用 [复制链接]

MEMS产品早在1980年就已经存在了，与使用了CMOS工艺的一般半导体相比，因为晶圆制成非常复杂，包装也很耗功夫，使得工程标准化和低成本变得十分困难，所以只应用于有限的用途。但是，最近确定了批量生产小型、高性能的MEMS产品的技术，除了汽车发动机控制、医疗器械、喷墨打印机这些常用用途外，数码相机和智能手机这类随身携带的电子产品里也使用了很多的MEMS产品。MEMS产品市场今后将持续每年增长10-15%，并预计在2017年时，将从现在的9200亿日元增长到17000亿日元。（YoleDevelopment公司预测）

MEMS传感器的需求正向工业用的运输设备、测量设备、建设设备和微创诊断设备以及内嵌型设备等用途延伸。采用了坚固的3D-MEMS结构的我公司的加速度传感器和倾角传感器被广泛用于要求具备自我诊断功能、高性能和高可靠性的用途。就连飞机等要求极高的精度和可靠性的应用中采用的事例也有很多，像用于起搏器这类内嵌式设备，也处于世界领先的水平，以丰富的经验和知识为基础为客户提供支持。

我们公司代理的VTI倾角传感器在工业医疗上也广泛应用。如倾角传感器在发动机，挖掘机，起重机等工程机械的应用。

VTI的倾角传感器是由高质量硅电容传感器元件和接口电子组成并装配在特定的应用包装中的。硅电容倾角传感器的元件是由单晶硅和玻璃做成的。这种设计能确保相对于时间和温度的可靠性,史无前例的准确性和优秀的稳定性。通常一个元件能承受多余40000g的加速度(1g=地球引力的加速度)。