“迈步在脉冲测试之前”—脉冲校准

Jack_ma

“迈步在脉冲测试之前”—脉冲校准 [复制链接]

运行 AutocalScope

在进行任何脉冲[1]校准之前，应运行AutocalScope。为了获得最佳的脉冲IV结果，也应在当天的第一个实验之前运行AutocalScope。

1.      4200-SCS[2]必须在开机30分钟后才可以进行任何校准或测量。

2.      在项目导航栏（图1）中双击AutocalScope。

图1.  4200 PulseIV-Complete项目的截图，对项目导航栏做了解释。

3.      点击绿色的Run按钮。

4.      按照弹出对话框上的指示，从4200-SCP2上断开所有的连接。

5.       SCP2执行一个autocal大概约需要1分钟。

6.      当运行按钮是绿色时即完成了测试。在工作​​表选项页中，AutoCalStatus=0意味着没有错误。

7.      重新给4200-SCP2连接电缆。将电缆连接到4200-SCP2触发SMB连接器上时要小心。

 

 

运行PulseIVCal

通过运行scope-shot来验证正确的设置。对于在晶圆上的测试，要具有一个直通的、或短的可用结构，或确保门极和漏极探头所共用的焊盘可以提供良好的连接。有断开和直通/短路这两个步骤进行校准。

1.      如果尚未执行，运行上述的AutocalScope程序。

2.      双击项目导航栏的PulseIVCal。

3.      点击绿色的“Run”按钮来启动PulseIVCal。

4.      第一个对话框中点击“OK”来继续PulseIVCal（图2中，左边的对话框）。

5.      第二个对话框要求探针从晶圆[3]上抬起，断开接触。提起探针或降低晶圆来进入断开状态。

6.      在打开对话框（图2，中间对话框）中点击“OK”。打开部分约需1分钟。

图2. 三个独立的PulselVCal对话框：初始化，开路Cal，直通Cal

 

7.      第三个对话框要求探针通过直通设备彼此相连。将探针降低到直通设备上。

8.      在直通对话框（图2，右对话框）中点击“OK”。直通部分约需1分钟。

9.      “Run”按钮是绿色时完成了测试。在工作​​表选项页，cal_pulseiv = 0意味着没有错误。

10.    该系统现已准备就绪来测试常规设备。

 

 

了解更多信息
 了解有关4200-SCS型半导体特性分析系统的更多信息，可点击http://www.keithley.com.cn/products/dcac/sensitive/?path=4200-SCS/Documents ，或登录微博http://weibo.com/keithley与专家进行互动。

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[1] 脉冲：http://www.keithley.com.cn/semi/4200scs/4200piv

[2] 4200-SCS：http://www.keithley.com.cn/products/semiconductor/parametricanalyzer/4200scs

[3] 晶圆：http://www.keithley.com.cn/products/semiconductor/reliabilitytestsolutions/4200scs/?path=ACS-WLR/Documents