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声表面波(简写SAW)是英国物理学家端利在19世纪80年代研究地震波过程中发现的一种能量集中于地表面传播的声波。
近几十年来,人们对SAW基本性质的认识越来越深入,特别是在1965年,美国的R.M.White健棚F.M.Voltmov发明了能在压电材料表面激励SAW的金属叉指换能器(简写IDT)之后.大大加速声表面波技术的发展,相继出现了许多各具特色的sAw器件,使这门年轻的学科逐步发展成为新兴的、声学和电子学相结合的边缘学科。现在5Aw技术的应用已涉及许多学科领域,例如:地震学、天文学、雷达通讯及广播电视中的信号处理、航空航天、石油勘探、无损检测等。
然而,用SAW器件研制、开发新一代传感器还是20世纪80年代的事。起初,人们发现外界因素(如温度、压力、磁场、电场、某种气体等)对SAW传播特性会造成影响,进而研究这些影响与外界因素关系。根据这些函数关系,设计了
各种所需结构,用于测量各种化学的、物理的被测参数。从80年代至90年代,SAW传感器在欧美,特别是在日本,发展十分迅速.已出现了十几种类型5Aw
传感器。尽管SAW传感器的历史并不长.在实用化方面尚有很多困难,但由于它符合信号系统数字化、微机控制化和集成化.高秸度的发展方向,因而世界上许多
国家对SAW传感器的开发研究极为关注,受到人们的高度重视。
本书是目前国内最全的声表面波传感器资料。
本书第一章主要论述声表面波技术基础及声表面波传感器理论基础。这是研制声表面波传感器的共同理论基础。
第二章至第六章主要分析研究了各类声表面波传感器的工作原理、设计计算、结构特点等。
第七章对声表面波传感器常用的温度补偿方法进行了分析、尤其是用声表面波器件控制计数门时间同时受温度影响的特点,来进行温度补偿。这对声表面被传感器具有特殊意义。
第八章将浮动零点的概念用于声表面波传感器,使传感器零点漂移对测量精度的影响大大降低。
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