MEMS压力传感器的两种类型

国纳科技酱 · 发表于2023-10-28 21:45

MEMS压力传感器的两种类型 [复制链接]

MEMS压力传感器是一种用于测量压力的装置，主要分为电容式和电阻式两种类型。随着MEMS技术的不断发展和普及，消费电子中的智能手机采用MEMS压力传感器的应用也越来越广泛，主要用来测量大气压力。通过测量大气压，就可以实现更为精确的三维定位，包括爬楼高度、爬楼梯级数等。

MEMS压力传感器的工作原理相对简单，其核心结构是一层薄膜元件。当受到压力时，薄膜元件会变形，这种形变会导致材料的电性能——电阻或电容发生变化。因此，可以利用压阻型应变仪等装置来测量这种形变，进而计算出受到的压力大小。

下面介绍两种常见的MEMS压力传感器结构和工作原理：

一种是电容式MEMS压力传感器。这种传感器结构由上下两个横隔(传感器横隔上部、传感器下部)组成。当受到压力时，上下两个横隔之间的间距会发生变化，导致隔板之间的电容发生变化。通过测量电容的变化，就可以计算出压力的大小。

另一种是电阻式MEMS压力传感器。这种传感器由一个带有硅薄膜的底座和安装在其上的电阻结构组成。当外力施加时，电压会与压力大小成比例变化产生测量值。通过测量电压的变化，就可以计算出受到的压力大小。总体来说，MEMS压力传感器在测量压力方面具有较高的精度和可靠性，是实现各种应用的重要技术之一。

据悉，MEMS器件国产化替代践行者——知芯传感，两大核心业务之一就是压力传感器件的研发与生产。

wangerxian · 发表于2023-10-30 18:36

这种压力传感器和薄膜压力传感器的区别或者优劣势？

国纳科技酱 · 发表于2023-10-31 15:30

wangerxian 发表于 2023-10-30 18:36 这种压力传感器和薄膜压力传感器的区别或者优劣势？

MEMS压力传感器，一般是电阻式的。电阻应变片组成惠斯顿电桥作为力电变换测量电路的，具有较高的测量精度、较低的功耗，极低的成本。

wangerxian · 发表于2023-10-31 16:05

国纳科技酱发表于 2023-10-31 15:30 MEMS压力传感器，一般是电阻式的。电阻应变片组成惠斯顿电桥作为力电变换测量电路的，具有较高的测量精 ...

那这个传感器是软的还是硬的？太过用力是否会损坏？

国纳科技酱 · 发表于2023-10-31 21:30

固态的，有封装的，所料或者金属封装。不要故意破坏，都是可以的

伊莱克超你可

这种压力传感器，和Vishay的VCNL3030X01P距离检测方案精确度有没有差异？

highlywood

压力传感器在受压时，不同区域的上下横隔面之间的距离是不同的吧，如何转换为相应的电容差，这个模拟计算的时候感觉还是挺复杂的