10万级半导体无尘车间尘埃粒子检测器

胖小七

10万级半导体无尘车间尘埃粒子检测器 [复制链接]

集成电路是当今信息技术产业高速发展的基础和源动力，其技术水平和发展规模已成为衡量一个国家产业竞争力和综合国力的重要标志之一。近年来一系列的政策出台鼓励国内半导体行业的发展，半导体“大基金”为国内半导体行业发展提供直接支持，将能有力提高集成电路领域的投资能力，从而释放相关设备领域的需求。洁净室工程是集成电路制造环节中重要的一环，直接决定了较终产品的成败。

 

集成电路的基础制造材料是硅片，硅片经过各种表面处理后，与光刻板一起经过包括光刻、热处理、介质沉积、化学机械研磨等工艺较终形成集成电路芯片。如果生产过程中洁净程度达不到要求，产品良品率会受到很大影响，较终产品就会失败。随着技术的进步，集成电路对洁净度的要求越来越高。一般而言，当微粒尺寸达到集成电路节点一半大小时就成为了破坏性微粒，对集成电路的制造产生影响。比如，14 纳米工艺中 7 纳米的微粒就会影响制造过程。随着集成电路的工艺越来越高，目前5纳米的工艺已经开始研发，集成电路制造过程需要的洁净程度越来越高，对于洁净室工程的技术提出越来越高的要求。

 

集成电路几乎所有环节都需要洁净室内完成，且集成电路生产对洁净度 要求很高。和其他产业不同，集成电路产业链几乎所有的主要环节都需要在洁净环境中进行，从单晶硅片制造，到 IC 制造的几乎所有环节，到 IC 封装的重要步骤都需要在洁净室中完成，且对于洁净度的要求非常高。洁净室又被称为无尘室或清净室，是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。

 

即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。洁净室讲的通俗点就是利用一定的科学技术手段，控制一定空间范围内的空气悬浮的颗粒浓度，而达到一定的浓度级别对应的就是一种洁净室的等级。严格的来讲，洁净室不仅仅是控制空气中的微小颗粒，他要控制的是整个车间（洁净室）里面的微粒子，灰尘，细菌和微生物等等，除了要控制这些，洁净室一般还得控制温湿度等其他参数。

 

洁净室在我们生产企业里面是使用的比较普遍的，比如电子类产品一些工序对空气中的微小颗粒是有要求的，需要达到一定的级别，其中SMT贴片室就最为典型。净化车间一般包含机器设备区(包含净化机组用地、电气设备用地、工业纯水和高纯度气用地、热冷机器设备用地等)、管理区(包含办公室、值勤、管理室和休息区等)、洁净辅助间(包含工作人员净化用室、原材料净化用室和一部分日常生活净化用室等)、厂区。后三类用地全是为洁净厂区服务项目的设备。

 

CW一RPC系列远程激光尘埃粒子计数器是赛纳威研发的智能多点监控系统的终端设备，可以通过RJ45网络接口、WiFi、485 (moudbus）等，将数据传输给PC终端，为用户提供实时准确的车间微粒数量和净化等级。该粒子计数器按照国际标准IS014644-1，GMP和日本工业标准(JIS）要求标定，其计数效率和准确性满足JJF1190-2008《尘埃粒子计数器》校准依据，专业应用于电子行业、制药车间、食品、药品车间、半导体、光学或精密机械加工车间等洁净环境；用户可根据需要增加或减少控制终端，可实现7*24实时远程自动监测，有助于企业提升自动化、精细化管理。

 

粒子计数器设备分落散布在车间各监控点位，由安装了系统监控软件的主控电脑控制各采集点的工作状态；监控软件可选择设定测试粒径、测试时间、采样间隔、刷新频率、显示单位、采样模式和超限报警等，并可对测试历史数据按需求进行查询、统计、分析及绘制曲线图，并可提供moudbus485通讯协议对接用户物联网平台，供用户自行开发和应用。