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五彩晶圆(高级)
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最近公司里两台热辊里的温度传感器出现一个偏高(实测126℃),一个偏低(实测121℃),后来把两个温度传感器交换了一下,两个传感器都变成了123℃,可能是什么原因?温度传感器后面有个放大器。
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五彩晶圆(初级)
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