轻微接触
来自Carl Zeiss IMT Corp.的F25机器(www.Zeiss.com )是一个接触式系统,结合了一个光学系统,包含三个传感器-两个用来测量,一个用来协助操作员。一个是压电膜式全扫描接触传感器可以有触点。它也可以用作全自动扫描模式。Zeiss的精密产品的新经理Gerrit deGlee指出,测头直径可以小到0.12mm,接触压力比传统坐标测量机典型经验值小约100倍。“这很重要,因为允许更小的夹持力。微型零件由于被夹持可能会变形,必须精确估计夹持力而不使零件变形”,deGlee说。
F25机器上所安装的光学系统,邻近接触传感器,可以独立使用或与接触传感器结合使用。该系统有环形光源可根据亮度和方向进行编程,以最小化不需要的阴影。 安装有 Renishaw TP 20 的Datron机器可以在圆形零件上确保相同的切深。
当要测量非常小或需要显微镜才能看到的特征时,操作员很难看到测量过程。例如F25上0.12mm的测头不放大几乎看不到。因此机器具有一个光学系统可以放大接触式探测器的测量区域,并将图象放大到显示器上便于操作者开发程序。光学检测系统直接将测量显示在测试软件屏幕上。
F25不是工厂车间用的机型,,因为它的高精度和缺乏对热影响的控制,尤其是车间的环境。不可靠测量精度小于250纳米(小于0.00025mm或0.0000098英寸)。当测量达到这样的精度时,热影响就非常明显了。该机型使用稳定热膨胀系统微晶玻璃,这原本为望远镜开发的。这种材料消除了热膨胀系数的不确定,并且不再需要测试该系数的热传感器。
非接触探测
Smartscope多传感器测试系统使无测头偏移的微接触探测技术成为可能,该产品来自美国纽约州罗彻斯特的Optical Gaging Products Inc. (www.ogpnet.com )。该技术被称为“羽毛探测”,使用微型的测头并使其做持续的微动。该探测器在一个非常窄的测头底部有一个0.125 mm的探针。当探针接近被测物体时,接近到表面引起的微动改变时,就记录一次测量值。探测器不偏移,测试系统使用小于1毫克的力。OGP说“羽毛探测”使小的缝隙,孔,凹槽或孔的拔模斜度测量变得容易了,还可以探测柔软或可变形材料。该技术可用于X, Y 和 Z 轴。
为避免损坏,探针在不使用的时候缩回到保护空间里,只有在需要自动测量时才伸出来。
另外一个来自OGP的非接触测量传感器在测量表面时具有高的侧位和高度分辨率,该传感器就是Rainbow探测白光传感器,它可以得到亚微型Z轴分辨率。这项技术在一个透镜里使用扩展轴的色差,每根光线的波长都在其光轴上不同的点。颜色分析使Rainbow探测器对表面反射和粗糙变化不敏感。当用于多传感器系统中,探测器可以扫描表面提供非接触测量,表面细节可以是任何外形的而旁边的扫描则生成该区域图形。