半导体测试系统中使用的仪器

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半导体测试系统中使用的仪器 [复制链接]

仪器类型	在半导体测试系统中的主要应用
波形发生器	产生模拟激励波形
信号处理器	对模拟波形进行分析（利用数字信号处理）
电源	向测试系统提供电力
示波器	对器件的波形进行捕获和分析
射频信号发生器	产生射频激励波形
时间/频域源	供系统和被测件用的时间基准
频谱分析仪	对波形频谱成分进行分析
光谱源	产生供光波器件用的信号
光波分析仪	对来自光波器件的信号进行分析
逻辑分析仪	对数字波形进行捕获和显示
协议分析仪	对通信协议进行分析
参数测量装置	激励/测量电压和电流
引脚电子测试设备	激励/测量数字输入/输出
定序器/APG	产生数字矢量序列