加工的精度对精密研磨抛光设备的帮助

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　　加工的精度对精密研磨抛光设备的帮助

　　超精密平面研磨机的加工的精度比传统的精密研磨抛光设备加工进步了一个以上的数目级值，跟着新技术、新工艺、新设备以及新的测试技术和仪器的采用，其加工精度都在不断地进步，一定程度上也反映了加工工件时材料的分割水平不断由宏观进人微观世界的发展趋势。跟着时间的进展，原来以为是难以达到的加工精度会变得相对轻易。因此，普通加工、精密加工和超精密加工只是一个相对概念?其间的界限跟着时间的推移不断变化。精紧密亲密削与超精密加工的典型代表是金刚石切削。

　　以金刚石切削为例。其刀刃口圆弧半径一直在向更小的方向发展。由于它的大小直接影响到被加工表面的粗拙度，与光学镜面的反射率直接有关，对仪器设备的反射率要求越来越高。如激光陀螺反射镜的反射率已提出要达到99.99%，这就必定要求金刚石刀具更加锋利。为了进行切极薄试验，目标是达到切屑厚度nm，其刀具刃口圆弧半径应趋近2.4nm。为了达到这个高度，促使金刚石研磨机改变了传统的结构。其中主轴轴承采用了空气轴承作为支承，研磨盘的端面跳动可在机床上自行修正，使其端面跳动控制在0.5μm以下。

　　刀具方面，采用金刚石砂轮，控制背吃刀量和进给量，在超精密平面研磨机上，可以进行延性方式磨削，即纳米磨削。即使是玻璃的表面也可以获得光学镜面。精密加工和超精密加工的发展趋势从长远发展的观点来看，制造技术是当前世界各国发展国民经济的主攻方向和战略决议计划，是一个国家经济发展的重要手段之一，同时又是一个国家独立自主、繁荣昌盛、经济上持续不乱发展、科技上保持领先的长弘远计。

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