求介绍一些能够高精度控制的仪器或者传感器

dgvud

求介绍一些能够高精度控制的仪器或者传感器 [复制链接]

跟着老板做一些直线电机方面的研究，关键时候缺少了一个能高精度测量微位移的仪器，精度um级别的，能达到nm的更好，有没有大神能够给介绍一下。

hjf2002

可以看看光栅尺。

chunyang

微米级别的位移传感器可用光栅尺，数控机加设备专用的，但价格可不便宜。至于纳米级别的位移传感器，市面上根本就没有，需要采取特殊实验室方法才能实现，用到产品中完全没有可行性，至少中国做不到，国外有这个技术的也会被禁止出口。

youluo

春哥真是见多识广啊。

dgvud

如果是产品化多数用光栅。但是光栅精度其实顶多到um级别。
如果是搞研究，光栅的按照比较有局限，可以参考高精度的位移传感器。
市面上用的多的是激光位移传感器，但是对于精密控制来讲，激光位移传感器的线性度差了点。
还有种色散共焦位移计，线性度要远远高于激光位移传感器，绝对精度在几个nm到几个nm。做研究用还是很好的，光学非基础测量，想怎么架设都方便，另外他们有搞导轨的一些刚度实验室的，也有用这个来测量的。

色散共焦位移计可以查下思信科学仪器。