我们曾对采用四个2400的测试系统的测试速度、小电流和小电压测量精度,在一系列不同的测量时间间隔条件下(即不同的NPLC设定参数)进行过特征化测试。NPLC参数与测试时间间隔有如下关系式
测试时间间隔(秒)= 1/60(NPLC参数)
图1表示了2400型源表NPLC值从0.01到1.0时,在10-2A、10-3A、10-4A、10-5A和10-6A量程内的低电流测量性能。测试电流的大小接近每个量程的最大值,而每个测量点则代表100次测量的标准差。测试结果表明,对于每一个很短的积分(integration)时间,即 < 0.1 NPLC,在10-2A、10-3A和10-4A量程下,电流测量的标准差小于满量程的0.005%,而在10-5A和10-6A量程下小于0.08%。在10-5A和10-6A量程下以最高测试速度测量时,±3σ的测试可重复性达到了< 2nA。图2表示了一个以四个2400构建的测试系统的测试吞吐率的测量结果(该结果表示为NPLC设定值的函数)。
图1. 2400源表的电流测量值的标准差与NPLC的关系曲线,其中的测试量程为10-2A、10-3A、10-4A、10-5A和10-6A。
当用于单个像素的开路、短路测量时,2400被配置成一个电流源,然后进行电压测量。PC机通过电流源输出值和电压测量值计算出电阻。这一技术直接使用了2400进行电阻测量,从而缩短了与电阻测量有关的测量时间。测量精度接近或小于0.2%,而这一性能水平对于“合格或不合格”的测试是足够了。它的测试吞吐率为漏电流测试速度的百分之几。
图2. 采用四个2400的OLED特征化系统的测试吞吐率
在对电缆、扫描卡和夹具的设计中使用保护,可大大降低漏电流,而且能够为基于6517A型静电计和7158、7058型扫描卡的系统,实现低电流的测量提供支持。加保护的信号通路缩短了与低电流测量所需的较长稳定时间,这进而又缩短了测试时间。即使采用了保护电路,6517A的测量速度仍比不上2400,所以它的吞吐率将会低一些。
可以采用四个6517A和低电流扫描卡组成的系统进行一次性能研究,但由于测试夹具和电缆走线对测试系统有很大的影响而使此项研究未能实现。这些部件通常是客户提供的,而漏电流的大小可以有非常大的变化范围,这就影响到了低电流性能和测试稳定时间。
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