如何运行scope-shot？

Jack_ma

如何运行scope-shot？ [复制链接]

Scope-shot（图1）用来验证正确的连接和系统设置。图1所示的波形是一个典型的测试结果，实际结果应该与此相似。如果波形具有显著的振铃或过冲，脉冲IV测试将不会提供良好的结果。检查脉冲的互连以确保适当的电缆，并确保所有连接牢固可靠。如果使用4200-PRB-C[1]（Y适配器电缆是脉动，具有直流互联和结构），需要确保这两个地是连接在一起的。

图1.  Scope-shot选项页显示的是100ns的脉宽。正脉冲曲线（蓝色），左边Y轴所示，是在4200-SCP2的通道1上看到的门极电压。负脉冲曲线（红色），右边Y轴所示，是420-SCP2通道2上看到的Vd响应电压。这些数值无法校准。要得到漏极电流，需要将Vd响应曲线除以50ohm。

正脉冲曲线（蓝色）是施加在门极的脉冲，如在示波器[2]上看到的一样。请注意显示的波形数据没有使用任何校正因子。这就意味着当使用默认脉冲IV的设置时，到门极的源脉冲低于预期值。为了得到近似正确的门极脉冲电压，波形数据乘以1.36来得到施加在DUT门极引脚的电压。负脉冲曲线（红色）是漏极响应[3]。
Scope-shot的UTM有比其他脉冲IV例程更多的参数，如上升/下降时间和直流偏移，所以它也可以用于单脉冲瞬态测试的调研或样机。

 

可调参数

PulseWidth	Vgs脉宽，全宽半幅（FWHM）
PulseAmplitude	Vgs，门极脉冲
GateRange	SCP2栅极电压范围，手动设置，SCP2以零为中心，所以示波器5V的范围为- 2.5V至+2.5 V。举例说明，对于3V信号，使用GateRange= 10（- 5V至+5 V），而非5（-2.5至+2.5 V）。4200-SCP2的可用范围为：0.05，0.10，0.25，0.5，1，2，5，10 V。
DrainRange	SCP2的漏极电压范围，手动设置。要计算出合适的范围，使用DrainRange=（估计Id）× 50 ×2。以上为有效的SCP2范围。
PulsePeriod	Vgs脉冲周期。当使用4200 RBTs进行脉冲IV的设置时，脉冲周期≥1000 ×脉冲宽度，保持脉冲占空比≤0.1％。在大多数情况下，最好使用200E-6，这将允许在整个40-150 ns脉冲宽度范围具有适当的占空比。
AverageNum	平均脉冲个数。对于较大的电流，Id≥500uA，通常平均个数=5就足够了。对于更小的Id，使用20-25的平均个数。值越大，提供的额外改善越少。请注意，所有的脉冲IV测试都具有这个设置，它控制有多少个脉冲用于返回一个结果，而不是发送到DUT的脉冲数量。
DrainBias	Vd，DUT门极的直流电压
VPUID	4200-SCP2[4]的验证码。VPUID=VPU1
DrainSMU	Vd的SMU。默认是SMU2，但是可以使用其他的SMU。

                    

所有的其他参数可用于单脉冲研究或其他调研。例如，scope-shot的上升和下降时间是不同的，用于瞬态、单脉冲和测试。这个例程具有最小的参数检查，允许尽可能宽的数值范围。

了解更多信息
 了解有关4200-SCS半导体参数分析仪的更多信息，可点击http://www.keithley.com.cn/semi/4200scs，或登录微博http://weibo.com/keithley与专家互动

---

[1] 4200-PRB-C http://www.keithley.com.cn/products/semiconductor/parametricanalyzer/4200scs/?mn=4200-PRB-C

[2] 4200-SCS型半导体特性分析系统http://www.keithley.com.cn/products/semiconductor/parametricanalyzer/4200scs/?mn=4200-SCS

[3] 纳米科学研究实验室 http://www.keithley.com.cn/re/nrl

[4] 4200-SCP2 http://www.keithley.com.cn/products/localizedproducts/semiconductor/4200scp2