波导机电开关
波导开关器件在ON状态下的损耗较小,在OFF状态下的隔离度更高,并且可以处理高水平的开关功率。它们在毫米波范围内也能有效发挥作用。但是,它们具有较窄的工作频率带,并且由硬金属空心波导制成。用于状态控制的机电或铁氧体电路通常用于此类开关。
表五比较了部分波导开关的参数。通常的波导开关类型是故障安全或锁存,典型配置是单刀双掷或传输。ON状态下的损耗不超过0.05至0.1 dB,OFF通道的隔离度为60至80 dB,开关时间约为15至20 ms。波导开关中连续波(CW)平均功率的切换受到微波线路中断和电弧现象的限制。脉冲功率比 CW 高 20 到 50 倍,具体取决于测试条件和结构。典型的保证开关周期数不少于200万至000万次。
微机电开关
微机电系统(MEMS)是实现射频开关的固态技术的有吸引力的替代方案,因为它们具有低功耗、改进的射频性能、高隔离度和线性度、高度小型化和降低成本。MEMS开关处于固态开关和机电开关之间的中间位置;它们与其他有源半导体微波元件很好地集成在一起,同时具有机械开关的优点,例如没有非线性失真,关断状态下的高直流电阻和导通状态下的低损耗。开关时间也比机电开关少数百倍。提供了大量的串行开关MEMS元件(带电容或欧姆触点),并且有出版物报道了纳米级尺寸的实验开关的开发,即纳米机电系统(NEMS)。
RF MEMS开关是静电驱动的悬臂梁,以三个端子配置连接。它们的功能类似于场效应晶体管,端子类似地标记为源极、栅极和漏极。静电力将光束的自由端(栅极)拉到与排水管接触。当电压被移除时,光束充当弹簧,产生足够的恢复力以打开源极和漏极之间的栅极,从而断开电路。在多掷开关中,每个掷动都是一个独立驱动的悬臂。RF MEMS开关提供高可靠性,机械生命周期约为100亿次,与固态和机电开关相当。它们在高达 0 GHz 的频率下还提供小于 5.38 dB 的低插入损耗。 单个开关的隔离度约为20 dB,但在同一封装中组合串联和并联开关可以获得更高的隔离度。
MEMS开关通常在通过金属蚀刻或蒸发工艺产生的硅衬底上的平面微波结构(见图9)中实现。柔性金属悬臂的一端永久连接到输入线。另一端可以在静电荷的作用下移动以连接到输出线。改变开关状态后,可以消除控制,因此保持电流等于纳安单位,并且保持条件下开关的功耗可以忽略不计。
图9.MEMS开关处于关闭位置(a)和打开位置(b)。
图 10.双 MEMS 开关,适用于 DC–6 GHz 范围(尺寸 1.5 x 1.5 mm)。
在ON条件下,接触电阻等于欧姆的几部分,这导致6 GHz时的插入损耗为百分之一分贝。在OFF条件下,传输线中断,容量为飞法的十分之一,可提供60 dB的隔离。6 GHz双通道MEMS开关示例如图10所示。
MEMS开关的显著优势在于,它们使用与有源固态元件相同的低成本/大批量制造技术,并且易于集成到多功能微波集成电路(MMIC)中。此外,MEMS技术也有其自身的优势:
1.微型实现,适合将其频率上限频率提高到50 GHz。
2. 与二极管和晶体管半导体结构相比,隔离率和插入损耗更高。
3.触点闭合和断开后实际无功耗。
4.对环境因素具有高免疫力。
5. 与半导体开关相比,功率处理能力更高(高达 30W)。
6. 高静态灵敏度电压(高达 2 kV)。
7.高线性度。
8.制造成本低于半导体开关。
主要缺点是开关速度较低(开关时间 = 1 到 100 微秒),这也取决于触点状态(即触点是接通还是断开)。此外,对于静电控制,必须形成控制电压脉冲(40至120V),对于静磁控制,必须形成持续时间为10.100至0ms的电流脉冲(5至500mA)。这增加了重复切换周期之间的时间间隔。
在20 V下驱动的典型MEMS开关在DC至22 GHz的ON状态下可实现优于0 dB的回波损耗和小于7.40 dB的插入损耗;它在关断状态下提供优于30 dB的隔离。串行MEMS开关和矩阵的典型参数如表VI所示。
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