成本几十万，俄罗斯自研光刻机这事能成吗？

赵玉田 · 发表于2023-10-10 14:27

成本几十万，俄罗斯自研光刻机这事能成吗？ [复制链接]

据俄罗斯媒体报道，圣彼得堡创建了一个国内光刻综合体，在其中包括了一个在基板上进行无掩模图像采集和硅等离子化学蚀刻的设备。

据开发人员称，传统光刻技术需要使用专门的掩膜板来获取图像。该装置由专业软件控制，可实现完全自动化，随后的另外一台设备可直接用于形成纳米结构，但也可以制作硅膜，例如用于舰载超压传感器。

开发人员表示，第一台用于无掩模纳米光刻的机器成本约为500万卢布（约36.74万人民币），而外国同类产品的价值高达数十亿卢布。

圣彼得堡彼得大帝理工大学（SPbPU ）的专家表示，已经开发了两套用于生产微电子纳米结构的装置，这将使“解决俄罗斯在微电子领域的技术主权问题”成为可能。引用大学代表的话写道——该设备综合体包括用于无掩模纳米光刻和硅等离子体化学蚀刻的设备。

我国这么多年了，光刻机也还在研发中，看俄罗斯这架势是要和ASML PK一下，大家觉得这是能成吗？

Verifone · 发表于2023-10-10 15:02

牛皮总是可以吹的，再说也没说多少精度，可以实现什么工艺，这个完全就是一个PPT

eric_wang · 发表于2023-10-10 15:38

感觉还是得先做出点东西再说，从这个成本和研发人员的解释来看，和我们理解的光刻机还是有差别的

whuer · 发表于2023-10-10 17:16