应用指南——使用4200A-SCS参数分析仪进行最佳电容和AC阻抗测量

eric_wang

应用指南——使用4200A-SCS参数分析仪进行最佳电容和AC阻抗测量 [复制链接]

C-V测量

各种各样的应用通常要在许多类型的器件上执行电容-电压(C-V) 和AC阻抗测量。例如，C-V 测量用来确定以下器件参数：

- MOSCAPs的栅极氧化物电容

- MOSFET输入和输出电容

- 太阳能电池的内建电场

- 二极管的多数载流子浓度

- BJT端子间的电容

- MIS电容器的氧化物厚度、掺杂密度和阀值电压

此前我们介绍了使用最新4215-CVU轻松测量飞法电容（戳这里复习），今天我们聊聊怎样使用适当的测量技术和CVU电容电压单元进行最优的电容测量。

 

4215-CVU和4210-CVU都是适用于4200A-SCS参数分析仪的多频(1 kHz ~ 10 MHz) AC阻抗测量模块( 参见图1)，让用户能够轻松进行C-V 测量。这两种CVU 之间的差异在于测试频率数量和AC驱动电压。4215-CVU拥有10,000个不同频率，分辨率为1 kHz；4210-CVU拥有37个不同频率。4215-CVU的AC驱动电压范围是10 mV ~ 1 V rms，4210-CVU的AC驱动电压范围是10 mV ~ 100mV rms。

图1. 4200A-SCS 参数分析仪

 

CVUs采用独特的电路设计，通过Clarius软件控制，支持多种特性和诊断工具，确保测量结果的准确度达到最高。CVU拥有多种内置工具，如实时测量模式、开路/ 短路补偿、参数提取生成器、滤波、定时控制，并能够在软件中切换AC电流表端子。除这些工具外，它还采用适当的线缆和C-V测量技术，用户可以进行高度灵敏的电容测量。

CVU测量概述

图2是简化的4210-CVU和4215-CVU模型。器件的电容通过提供AC电压，测量AC电流和相位来确定，同时在器件中应用或扫描DC电压。

图2. 简化的CVU图

时域AC值被处理到频域中，生成相量形式的阻抗。我们可以使用下面的公式，从AC阻抗和测试频率中计算出器件电容：

CVU使用自动平衡电桥(ABB) 方法测量电容。ABB用来抵消DUT 一个端子( 如果AC电流表在LCUR上则为LPOT) 上已知频率的AC信号，以警戒杂散阻抗。这个AC接地会把CVU的LPOT保持在0 VAC，这样测试电路中的所有AC电流都会流到AC电流表，而不会经过测试电路中的任何并联电容。

根据测试设置，包括频率、AC驱动电压和电流范围，CVU可以测量皮法级到毫法级电容。用户指定的测试范围取决于被测器件和导出的参数。测试频率范围为 1kHz~10MHz。DC 偏置功能是 ±30V(60V差分 )。

 

 

测量模型和参数

DUT测量的典型模型通常是一条串联或并联电阻电容(RC) 电路。如图3中简化的模型所示，CVU既可以作为串联配置(RSCS) 测量DUT，也可以作为并联配置(RPCP) 测量DUT。

图3. 简化的测量模型

 

CVU可以测量和显示以下参数：

 

• 阻抗和相位角(Z,Theta)

• 电阻和电抗 (R+jX) 

• 并联电容和电导(CP-GP) 

• 串联电容和电阻(CS-RS)

• 并联电容和杂散因子 (CP-D) 

• 串联电容和杂散因子(CS-D) 

• 导纳和相位角(Y,theta)

图4. 阻抗的矢量图

通过使用Clarius内置的Formulator工具，还可以从测得的数据中简便地提取其他参数，如电感。图4中的阻抗矢量图显示了阻抗的基础公式。

 

AC阻抗测量系统

如图5所示，C-V测量系统可能会相当复杂，因为配置中包括测量仪器和软件、信号路径线蓝、测试夹具和器件。为进行最优测量，必需相应设置CVU的测试设置和定时参数。必须使用适当的线缆、探头和测试夹具，然后必须执行连接补偿。最后，器件本身可能会导致测量问题。下面几节将讨论进行良好的电容测量需要考虑的硬件和软件。

 

图5. C-V测量系统

 

线缆和连接

本节介绍了怎样使用适当的线缆和连接，怎样保护卡盘和器件端子，以及怎样配置AC电流表端子。

 

适当的线缆

为获得最好的测量结果，应只使用随机自带的红色SMA电缆连接到CVU。随机自带的附件如下：

 ●  4条CA-447A SMA到SMA 1.5米电缆(红色）

 ●  4条CS-1247 SMA到BNC转接头

 ●  2条CS-701A BNC T形装置

 ●  1个扭矩扳手，用来紧固SMA电缆连接

图6. 2线传感的CVU连接图

随机自带的附件可以通过BNC或SMA连接，来连接测试夹具或探头。图6显示了CVU以及为2线传感配置的随机自带的附件。CS-1247 SMA到BNC转接头连接到每条CA-447A SMA到SMA电缆。HCUR和HPOT端子通过CS-701A BNC T形装置连接，构成CVH；LCUR和LPOT连接在一起，构成CVL。使用随机自带的扭矩扳手，紧固SMA电缆连接，确保接触良好。红色SMA电缆为100Ω。并联的两条100Ω电缆是50Ω，这是高频源测量应用的标准配置。

 

图7. 从CVU正确连接到DUT

图7是DUT 4线传感实例。在本例中，HCUR和HPOT端子连接到器件的一端，LPOT和LCUR端子连接到器件的另一端。为了改善带宽，我们把同轴电缆的外部屏蔽层连接到金属测试夹具上。我们使用到器件的4线连接，通过尽可能靠近器件传感电压，来简化灵敏的测量。

四条同轴电缆每条电缆的外部屏蔽层必须尽可能近地连接到器件上，以使屏蔽层的环路面积达到最小。同轴电缆的外部屏蔽层还应连接到金属测试夹具上，以降低来自外部源的噪声和耦合。这降低了电感，有助于降低谐振效应，这种效应在1MHz以上的频率时可能会带来负担。

图8. 连接两个控制装置公共部分的接地跳线

图8是连接两个探头电缆组件公共部分的跳线。吉时利仪器公司拥有一系列4210-MMPC多测量电缆套件，适用于各种探头，可以实现各种控制装置的常用连接。