MEMS压力传感器的两种类型
<p>MEMS压力传感器是一种用于测量压力的装置,主要分为电容式和电阻式两种类型。随着MEMS技术的不断发展和普及,消费电子中的智能手机采用MEMS压力传感器的应用也越来越广泛,主要用来测量大气压力。通过测量大气压,就可以实现更为精确的三维定位,包括爬楼高度、爬楼梯级数等。</p><p> </p>
<p>MEMS压力传感器的工作原理相对简单,其核心结构是一层薄膜元件。当受到压力时,薄膜元件会变形,这种形变会导致材料的电性能——电阻或电容发生变化。因此,可以利用压阻型应变仪等装置来测量这种形变,进而计算出受到的压力大小。</p>
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<p>下面介绍两种常见的MEMS压力传感器结构和工作原理:</p>
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<p>一种是电容式MEMS压力传感器。这种传感器结构由上下两个横隔(传感器横隔上部、传感器下部)组成。当受到压力时,上下两个横隔之间的间距会发生变化,导致隔板之间的电容发生变化。通过测量电容的变化,就可以计算出压力的大小。</p>
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<p>另一种是电阻式MEMS压力传感器。这种传感器由一个带有硅薄膜的底座和安装在其上的电阻结构组成。当外力施加时,电压会与压力大小成比例变化产生测量值。通过测量电压的变化,就可以计算出受到的压力大小。 总体来说,MEMS压力传感器在测量压力方面具有较高的精度和可靠性,是实现各种应用的重要技术之一。</p>
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<p>据悉,MEMS器件国产化替代践行者——知芯传感,两大核心业务之一就是压力传感器件的研发与生产。</p>
<p>这种压力传感器和薄膜压力传感器的区别或者优劣势?</p>
wangerxian 发表于 2023-10-30 18:36
这种压力传感器和薄膜压力传感器的区别或者优劣势?
<p><span style="color:#000000">MEMS压力传感器,一般是电阻式的。电阻应变片组成惠斯顿电桥作为力电变换测量电路的,具有较高 的测量精度、较低的功耗,极低的成本。</span></p>
国纳科技酱 发表于 2023-10-31 15:30
MEMS压力传感器,一般是电阻式的。电阻应变片组成惠斯顿电桥作为力电变换测量电路的,具有较高 的测量精 ...
<p>那这个传感器是软的还是硬的?太过用力是否会损坏?</p>
<p>固态的,有封装的,所料或者金属封装。不要故意破坏,都是可以的</p>
<p>这种压力传感器,和Vishay的VCNL3030X01P距离检测方案 精确度有没有差异?</p>
压力传感器在受压时,不同区域的上下横隔面之间的距离是不同的吧,如何转换为相应的电容差,这个模拟计算的时候感觉还是挺复杂的
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