本帖最后由 吾妻思萌 于 2023-2-22 21:54 编辑
宽禁带材料简介:
宽禁带材料是指禁带宽度大于2.3eV的半导体材料,以I-V族材料SiC等最为常见。随着电子电力的发展,功率器件的使用越来越多SiC.GaN等被广泛应用于射频,超高压等领域,为适应特高压输电,电动汽车充电桩等超高压应用,可以承受更高电压的超宽禁带半导体,如金刚石,氧化镣等的研究也在逐渐深入。宽禁带材料一直是研究方同的热点。在半导体材料的研究中,电阻率,载流子密度和迁移率是测试的关键参数。
测试难点
1.宽禁带材料的带隙较大,击穿电场较高。超禁带材料击穿电场更高。因此需要上千伏高压源表进行测试
功率器件带隙较宽,稳定性好,受温度影响较小,所以也是高流器件的制备材料。电流特性的测试,需要用到几十安培的高流源表。
3.四线法及霍尔效应测试均是加流测压的过程,需要设备能输出电流并且测试电压,这意味着同时需要电流源和电压表。
电阻率及电子迁移率通常范围较大,需要电流电压范围都很大的设备。
5.电流源和电压表精度要高,保证测试的准确性。
电阻率测试方法:
四探针测试法
测试载台: 四探针测试台
载流子浓度及迁移率测试方法:霍尔效应测试法
测试载台:磁场设备及探针台
中功率测试设备:
测试设备: 4200A-SCS,SMU模块+PA
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