4D研究各种MEMS器件，传感器，硅麦，微执行器，悬臂梁等
图1、展示的是压电陶瓷执行器，采用4路正弦电源相位分别相差90°激励出一个行波。图2是koala数据采集软件，高速得到实时三维形貌信息。图3是MEMS Analysis Tool软件，可选取任意点测量xyz形貌、振幅、位移、速度等，还可以扫频进行谐振分析不明觉厉{:1_103:} 数字全息技术对比传统AFM、激光扫描共聚焦显微镜最大的特点是无需扫描实时成像的方式，只需0.001秒抓拍单张图像即可得到样品实时三维形貌。
资料来自lyncee tec数字全息显微镜。采用数字全息技术，采用CCD记录物光与参考光干涉形成的全息图，计算机根据全息图中包含的相位信息实时数值重建得到物体三维形貌信息。由于采用高精度激光，纵向提供了激光干涉级别的亚纳米精度。 向大佬学习。牛..................................................................... 大佬，请问这是加速度传感器吗？？？？？？？？？？？？？
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