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一粒金砂(中级)

 

光刻机镜头的结构思考 [复制链接]

 

光刻机镜头能不能采用超纯水夹心结构的(类似凹凸镜)?有没什么作用?!

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水材料恐怕不行吧,极紫外光的波长得特殊的透过率的材料吧,况且夹心的话内外层折射效果不一样  详情 回复 发表于 2023-7-21 10:08
 
 
 

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目前这个都是核心 据说光学复杂度高到天上了,小弟4面的都整不明白

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光学的东西我觉得都很复杂,我老公工作就跟光学的东西打交道的。他所在的部门除了他都是博士生研究生,我家那位是唯一之前混在里面的本科生。现在已经不招本科的了整个部门。  详情 回复 发表于 2023-7-21 09:49
 
 
 

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水材料恐怕不行吧,极紫外光的波长得特殊的透过率的材料吧
 
 
 

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一粒金砂(中级)

 

可以内部空心,内部周围凹凸槽折射改变光路径达到同样效果吗??

 
 
 

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光刻使用波长很短的紫外线,再短一点就是X射线了。无论哪种玻璃一般不能透过这么短波长的光,所以光刻机使用的镜头未必是我们看到的照相机镜头那样的透镜,很可能是反射镜。

 
 
 

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一粒金砂(中级)

 

你的意思光源从下往上发射的,中间传统的镜片组合,周围再聚光结构反射到光刻界面的!

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作为光学皮毛的门外汉,我所理解的光刻机镜头是十分特殊,波长一方面,对于成像质量,畸变 像差透射,鬼影,都有非常非常非常高的要求。精度是第一位的。而且透射光的能量也很关键。  详情 回复 发表于 2023-7-21 07:35
 
 
 

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光刻机镜头一般不采用超纯水夹心结构的凹凸镜。

 
 
 

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你的意思光源从下往上发射的,中间传统的镜片组合,周围再聚光结构反射到光刻界面的!

作为光学皮毛的门外汉,我所理解的光刻机镜头是十分特殊,波长一方面,对于成像质量,畸变 像差透射,鬼影,都有非常非常非常高的要求。精度是第一位的。而且透射光的能量也很关键。
 
 
 

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吾妻思萌 发表于 2023-7-20 17:53 目前这个都是核心 据说光学复杂度高到天上了,小弟4面的都整不明白

光学的东西我觉得都很复杂,我老公工作就跟光学的东西打交道的。他所在的部门除了他都是博士生研究生,我家那位是唯一之前混在里面的本科生。现在已经不招本科的了整个部门。

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五彩晶圆(初级)

 
水材料恐怕不行吧,极紫外光的波长得特殊的透过率的材料吧,况且夹心的话内外层折射效果不一样
 
 
 

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