DISCODFG8560二手研磨机可對100 μm以下的超薄晶圓進行精密研削
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可對100 μm以下的超薄晶圓進行精密研削 改善超薄晶圓研削及搬運系統的功能參數設計,提高了超薄研削 精加工的穩定性。 具有對應超薄研削精加工技術的系統擴張功能 可以與DBG(Dicing Before Grinding=先分割晶圓,後進行研削) 和乾式拋光機(DFP8140/8160)等組成聯機系統。 統一研削加工點,提高加工可信度 通過將*主軸的研削加工點與第二主軸的研削加工點位置統一,不但提 高了第二主軸的研削加工穩定性,而且減小了單片晶圓內的厚度誤差和晶 圓之間的厚度誤差,還有助於提高超薄研削加工質量的穩定性。
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