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一粒金砂(初级)

KRI 考夫曼聚焦射频离子源 RFICP380 辅助制备原子探针样品 [复制链接]

上海某大学研究中心采用伯东 KRI 考夫曼射频离子源 FRICP380  辅助制备三维原子探针样品, 主要是对三维原子探针样品进行蚀刻, 使样品变薄

 

伯东 KRI 射频离子源 RFICP380 技术参数:

射频离子源型号

RFICP380

Discharge 阳极

射频 RFICP

离子束流

>1500 mA

离子动能

100-1200 V

栅极直径

30 cm Φ

离子束

聚焦, 平行, 散射

流量

15-50 sccm

通气

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

典型压力

< 0.5m Torr

长度

39 cm

直径

59 cm

中和器

LFN 2000

 KRI 考夫曼离子源 RFICP 380

运行结果:

1. 采用 KRI 考夫曼射频离子源 FRICP380可以克服锆合金脆断的问题

2. 制备得到的样品满足了三维原子探针观察样品的要求

3. 可实现三维原子探针样品的快速, 便捷, 高效制备

 

伯东是德国 Pfeiffer 真空泵检漏仪质谱仪真空计, 美国 KRI 考夫曼离子源, 美国HVA 真空阀门, 美国 inTEST 高低温冲击测试机, 美国 Ambrell 感应加热设备和日本 NS 离子蚀刻机等进口知名品牌的指定代理商.

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